中国对设备厂商的影响力上升 半导体供应链越趋完整挖泥机
EUV终于纸箱进入量产阶段,部分尖端芯片制造商计划在2018年或最迟2019年初采用。ASML总裁兼执行长Peter Wennink在2017年表示,「EUV进入大量芯片制造的准备工作将进一步加快」。
ASML 2017年营收达到13.4亿美黄铜球阀元,并在第四季额外接单10台EUV系统,目前ASML手中累积未出货的EUV设备订单高达28台。
ASML指出,随着该公司持续支持中国不断扩展的半导体产业,2016年半导体制造设备对中国的销售额增加了20%以上,除了出货在中国营运的外资晶圆厂,ASML还计划于2018年向5家中国本土客户供货。
EUV营收占比创新高,ArF-immersion仍是黄光设备市场规模最大宗产品
晶圆制造导入EUV的消息延宕多时,由于先进制程仅采用浸润式曝光机(ArF-immersion)进行黄光制程难以继续为厂商带来成本效益,半导体厂商不得不致力于将EUV的导入成为现实,也因此EUV对ASM笔筒L的营收占比上升是可预期的结果,先进制程导入EUV。
虽然减少前段晶体管制程key-layer的光罩数目,将大幅减少ArF-immersion在Key-layer的使用,但晶体管微缩使得金属导线线宽也进一步微缩,基于成本考量厂商仍会采用ArF-immersion进行部分金属导线制程,加上存储器厂商的产能持续扩增,ArF-immersion仍是受厂商仰赖的黄光设备。
中国对设备厂商的影响力上升
▲ASML于中国本土的营收及积压待配订货统计(source:拓墣产业研究院)
如图所示,ASML出货于中国本土的黄光设备营收贡献逐年提升,2017年已达7.2亿美元,占ASML总营收11.3%,虽然相对韩国及美国等占比仍小,但已是5年前的2.1倍,成长不可谓不大,加上中国本土的积压待配订货(Backlog)也创下新高达到8亿美元。
显然可见中国对半导体制造业的投资力道未见停歇,对ASML而言,中国的影响力越来越大,同样的中国对其他半导体设备业及相关材料厂商也是如此,未来可预见中国的半导体供应链越趋完整。
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